박용주 김은규 민석기 K. Ozasa P. O'Keeffe Y. Aoyagi 2024-01-21T19:32:55Z 2024-01-21T19:32:55Z 2022-01-10 1996-07 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144397 Characteristics of a nitrogen gas-pulsed electron cyclotron resonance plasma 질소 가스펄스 ECR 플라즈마의 특성 Article 3 응용물리 = Ungyong Mulli (The Korean physical society), v.9, no.4, pp.444 - 449 응용물리 = Ungyong Mulli (The Korean physical society) 9 4 444 449 질소 가스펄스 플라즈마 ECR 전자온도 transient profile