안광덕 2024-01-21T19:41:08Z 2024-01-21T19:41:08Z 2022-01-10 1996-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144537 Photoresist materials for ULSI microlithography. 고집적 반도체 초미세가공용 포토레지스트 재료 = Article 3 월간 반도체, pp.29 - 44 월간 반도체 29 44