이창우 김용태 2024-01-21T19:45:33Z 2024-01-21T19:45:33Z 2022-01-10 1996-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144613 플라즈마 화학 증착된 질화텅스텐 박막의 불순물거동 및 확산특성 Article 3 새물리 = Sae Mulli (The Korean physical society), v.36, no.4, pp.371 - 375 새물리 = Sae Mulli (The Korean physical society) 36 4 371 375