고석근 장홍규 정형진 최원국 S.G. Kondranine E.A. Kralkina 2024-01-21T20:02:52Z 2024-01-21T20:02:52Z 2022-01-10 1996-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144674 Investigation of new ionized cluster beam source 새로운 이온화된 클라스터 빔원의 제작과 특성 조사 Article 3 Journal of the Korean vacuum society, v.5, no.3, pp.251 - 257 Journal of the Korean vacuum society 5 3 251 257 ICB