문제도 오재열 조영래 정효수 주병권 오명환 2024-01-21T20:05:09Z 2024-01-21T20:05:09Z 2022-01-10 1996-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144713 Design of electrostatic bonding equipment for large area and the effect of contamination particle on the Si-glass electrostatic bonding. 대면적 정전 접합 장치 고안 및 Si과 glass접합에 미치는 불순물의 영향 Article 3 한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.6, no.1, pp.3 - 11 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 6 1 3 11