김영관 박주상 추정우 손병청 이전국 2024-01-21T20:07:46Z 2024-01-21T20:07:46Z 2022-01-10 1996-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144758 Surfae analysis of PZT film prepared by sputtering method. Sputtering 법에 의해 성장시킨 PZT 막막의 표면 분석 = Article 3 한국진공학회지 = Journal of Korean vacuum society, v.v. 5, no.no. 2, pp.107 - ? 한국진공학회지 = Journal of Korean vacuum society v. 5 no. 2 107 ?