송석균 최원국 정형진 고석근 이정용 백홍구 2024-01-21T20:09:34Z 2024-01-21T20:09:34Z 2022-01-10 1996-01 1013-7009 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144789 Korean 한국물리학회 Reactive-metal ion beam과 산소 가스 ion beam 및 hybrid ion beam에 의한 주석 산화물 박막 물성 비교 연구 Property of tin-oxide thin films grown using a reactive-metal ion beam, an oxygen gas ion beam, and a hybrid ion beam Article 2 응용물리, v.9, no.5, pp.686 - 694 응용물리 9 5 686 694 N other ion beam