신치범 이경호 윤경석 황경순 문상흡 조원일 2024-01-21T20:10:55Z 2024-01-21T20:10:55Z 2022-01-10 1996-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144812 A study on the film-formation mechanism by ionized cluster beam deposition. 이온화 클러스터 빔 증착의 박막형성 기구에 관한 연구 = Article 3 공업화학, v.v. 7, no.no. 3, pp.464 - 472 공업화학 v. 7 no. 3 464 472