윤진국 변지영 김재수 최종술 2024-01-21T20:31:48Z 2024-01-21T20:31:48Z 2022-01-10 1995-11 1738-8228 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/144932 대한금속.재료학회 A study on the growth behaviors of MoSi2 diffusion layer formed by CVD of Si on Mo substrate Si의 화학증착에 의한 MoSi2 확산층의 성장거동에 관한 연구 Article 2 대한금속 . 재료학회지 = Korean journal of metals and materials, v.33, no.11, pp.1537 - 1543 대한금속 . 재료학회지 = Korean journal of metals and materials 33 11 1537 1543 chemical vapor deposition