김희중 김현태 한석희 강일구 김인응 김상주 2024-01-21T20:41:00Z 2024-01-21T20:41:00Z 2022-01-10 1995-05 0253-3847 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/145086 The effects of heat treatments of permalloy targets on the deposition rates of thin films 박막의 증착 속도에 미치는 타게트 열처리조건의 영향 Article 3 대한금속학회지 = Journal of the Korean Institute of Metals, v.33, no.5, pp.591 - 598 대한금속학회지 = Journal of the Korean Institute of Metals 33 5 591 598 박막 증착속도 퍼멀로이 타게트 잔류응력