배귀남 이춘식 박승오 안강호 2024-01-21T21:10:55Z 2024-01-21T21:10:55Z 2022-01-10 1995-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/145362 Korean 수직 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정 Measurement of particle deposition velocity toward a vertical wafer surface Article 2 공기조화·냉동공학논문집, v.7, no.3, pp.521 - 527 공기조화·냉동공학논문집 7 3 521 527 N other particle deposition velocity 입자침착속도 수직웨이퍼 대류확산