김동주 김영욱 박상환 최두진 이준근 2024-01-21T21:11:05Z 2024-01-21T21:11:05Z 2022-01-10 1995-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/145365 Effects of preferred orientation and microstructure on mechanical properties of chemically vapor deposited SiC. 화학증착 탄화규소막의 방향성과 미세구조가 증착층의 기계적 성질에 미치는 영향 = Article 3 Journal of the Korean ceramic society = 한국요업학회지, v.v. 32, no.no. 10, pp.1103 - 1110 Journal of the Korean ceramic society = 한국요업학회지 v. 32 no. 10 1103 1110 SiC film