김태윤 주병권 오명환 박정호 2024-01-21T21:39:09Z 2024-01-21T21:39:09Z 2022-01-10 1994-04 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/145608 Fabrication of a Humidity Sensing Device using Silicon Thermopile 실리콘 Thermopile을 이용한 감습 소자의 제작 Article 3 전자공학회논문지, v.31A, no.4, pp.70 - 76 전자공학회논문지 31A 4 70 76 MEMS micromachining micromechanical structure flow sensor