주병권 고창기 김철주 차균현 오명환 2024-01-21T21:41:03Z 2024-01-21T21:41:03Z 2022-01-10 1994-02 1225-5475 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/145638 한국센서학회 Fabrication and characterization of silicon devices for flow measurement (II) 흐름측정용 실리콘 소자의 제작 및 특성 평가 (II) Article 2 센서학회지, v.3, no.1, pp.12 - 18 센서학회지 3 1 12 18 MEMS micromachining micromechanical structure flow sensor