김용 김희진 김재성 김무성 민석기 2024-01-21T22:05:41Z 2024-01-21T22:05:41Z 2022-01-10 1994-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/145823 Atomic force microcopy를 이용한 Al0.5Ga0.5As/GaAs 다층 에피층구조의 단면관찰에 관한 연구 Article 3 응용물리, v.7, pp.124 응용물리 7 124 AFM MOCVD crossection observation stain etching