주병권 오명환 2024-01-21T22:15:52Z 2024-01-21T22:15:52Z 2022-01-10 1993-09 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/145991 마이크로 센서의 응용 Article 3 자동제어계측지 ., pp.2 - 2 자동제어계측지 . 2 2 MEMS micromachining microsensor