박용주 김무성 김용 조훈영 김성일 민석기 엄경숙 2024-01-21T22:38:54Z 2024-01-21T22:38:54Z 2022-01-10 1993-01 1225-0562 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146148 Korean 한국재료학회 GaAs 집적회로 제조를 위한 에피 성장 연구 Epitaxial growth for GaAs IC. Article 2 한국재료학회지, v.v. 3, no.no. 6, pp.645 - 651 한국재료학회지 v. 3 no. 6 645 651 N kci 반절연기판 MOCVD MBE 누설전류