김태송 오명환 김종희 2024-01-21T22:42:52Z 2024-01-21T22:42:52Z 2022-01-10 1993-01 1229-7801 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146215 한국세라믹학회 A study on the structural properties of Rf magnetron sputtered Ba1-xSrxTiO3 thin film Rf magnetron sputtering 법으로 제조된 Ba1-xSrxTiO3 박막의 구조적 특성에 대한 연구 Article 2 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society, v.30, no.6, pp.441 - 448 한국세라믹학회지 = Journal of the Korean Ceramic Society 30 6 441 448 BST thin film sputtering process ITO substrate