강광남 이정일 오명환 김형곤 주병권 이명복 2024-01-21T22:44:28Z 2024-01-21T22:44:28Z 2022-01-10 1993-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146242 Fabrication and characterization of silicon device for flow measurement (I) 흐름측정용 실리콘 소자의 제작 및 특성 평가 (I) Article 3 한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.3, no.1, pp.28 - 32 한국재료학회지 = Korean journal of materials research 3 1 28 32 실리콘 소자