안광덕 정찬문 2024-01-21T22:46:18Z 2024-01-21T22:46:18Z 2022-01-10 1993-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146273 Chemical amplification resists for microlithography. 고집적 반도체 초미세가공용 화학증폭성 레지스트 = Article 3 화학세계, v.v. 33, no.no. 11, pp.835 - 841 화학세계 v. 33 no. 11 835 841