최원국 윤덕주 공병인 김창현 황정남 정광호 2024-01-21T23:02:03Z 2024-01-21T23:02:03Z 2022-01-10 1993-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146313 The study on thin film fabrication using UHV-LCVD system (I) UHV-LCVD 장치를 이용한 박막제작에 관한 연구 (I) : 장치 제작을 중심으로 Article 3 Journal of the Korean vacuum society, v.2, no.2, pp.255 - 260 Journal of the Korean vacuum society 2 2 255 260