김은규 조훈영 민석기 최원철 박종윤 김현수 2024-01-21T23:09:15Z 2024-01-21T23:09:15Z 2022-01-10 1992-06 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146432 Excimer laser illumination 에 따른 실리콘반도체 특성변화 . Article 3 새물리, v.v. 32, no.no. 3, pp.395 - 400 새물리 v. 32 no. 3 395 400 excimer laser Si laser illumination