오명환 주병권 2024-01-21T23:11:49Z 2024-01-21T23:11:49Z 2022-01-10 1992-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146475 마이크로 박막 센서의 기술동향 Article 3 전기학회지 ., v.41, no.2, pp.6 - 11 전기학회지 . 41 2 6 11 MEMS micromachining microsensor