정형진 고석근 임종태 송석준 2024-01-21T23:15:08Z 2024-01-21T23:15:08Z 2022-01-10 1992-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146529 A Formation of Thin Film by Ionized Cluster Beam Deposition 이온 크러스터빔 (Ionized Cluster Beam) 증착에 의한 박막형성 . Article 3 대한금속학회회보, v.v. 5, no.no. 2, pp.137 - 143 대한금속학회회보 v. 5 no. 2 137 143