장감용 오영제 2024-01-21T23:31:01Z 2024-01-21T23:31:01Z 2022-01-10 1992-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146574 세라믹스 박막의 특성평가 Article 3 요업재료의 과학과 기술, v.7, no.3, pp.321 - 326 요업재료의 과학과 기술 7 3 321 326 박막구조 기계적·열적 성질 전기적 성질 화학조성분석