김대준 이형직 전명철 윤상옥 2024-01-21T23:32:22Z 2024-01-21T23:32:22Z 2022-01-10 1992-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146596 Process for the Measurement of Radio-Frequency Induced Plasma 고주파 유도 플라즈마의 계측 프로세스 Article 3 요업재료의 과학과 기술, pp.178 - 188 요업재료의 과학과 기술 178 188 plasma high frequency measurement