주병권 하병주 김철주 오명환 차균현 2024-01-21T23:33:19Z 2024-01-21T23:33:19Z 2022-01-10 1992-01 1225-0562 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146612 Short consideration on the non-uniformities existing at the etched-edges in deep anisotropic etching of (100) silicon (100) 실리콘의 깊은 비등방성 식각시 식각면의 가장자리에 존재하는 불균일성의 짤막한 고찰 Article 2 한국재료학회지 = Korean Journal of Materials Research, v.2, no.5, pp.383 - 386 한국재료학회지 = Korean Journal of Materials Research 2 5 383 386 MEMS micromachining deep silicon etching diaphragm