강광남 주병권 이재옥 김철주 오명환 차균현 이명복 2024-01-21T23:42:21Z 2024-01-21T23:42:21Z 2022-01-10 1991-08 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146760 Filling-up effect of micro-gap by interfacial oxide growing in SFB process SFB 공정시 계면 산화막의 성장에 의한 micro-gap의 메움 효과 Article 3 전자공학회논문지, v.28A, no.2, pp.71 - 76 전자공학회논문지 28A 2 71 76 interfacial oxide growing