김용태 민석기 홍종성 강태원 홍치유 2024-01-22T00:02:33Z 2024-01-22T00:02:33Z 2022-01-10 1991-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146873 플라즈마화학증착 텅스텐박막의 특성에 미치는 H//2/WF//6 입력비의 역활 . Article 3 새물리, v.v. 31, pp.569 - 573 새물리 v. 31 569 573