주병권 오명환 2024-01-22T00:02:54Z 2024-01-22T00:02:54Z 2022-01-10 1991-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146879 IC 기술을 이용한 자동차용 실리콘 가속센서 Article 3 전자부품지 ., pp.50 전자부품지 . 50 MEMS micromachining microsensor acceleration sensor