나종갑 정경태 김영호 2024-01-22T00:06:03Z 2024-01-22T00:06:03Z 2022-01-10 1991-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146930 박막의 미세조직이 구리박막의 미세선 형성에 미치는 영향 . Article 3 대한금속학회지, v.v. 29, no.no. 11, pp.1097 - 1104 대한금속학회지 v. 29 no. 11 1097 1104 구리세선 스파터링 습식화학식각 미세조직 표면조도