김용태 민석기 홍종성 홍치유 2024-01-22T00:08:15Z 2024-01-22T00:08:15Z 2022-01-10 1991-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146967 플라즈마 Silane 환원반응에 의한 텅스텐박막의 증착 . Article 3 전자공학회논문지, v.v. 28A, no.no. 2, pp.134 - 141 전자공학회논문지 v. 28A no. 2 134 141