조원일 조병원 이성래 주재백 윤경석 2024-01-22T00:09:05Z 2024-01-22T00:09:05Z 2022-01-10 1991-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/146981 Journal of the Korean institute of chemical engineers 스퍼터 증착된 LaF//3 박막의 구조 및 산소검지 특성 = Article 3 화학공학 =, v.v. 29, no.no. 5, pp.589 - 595 화학공학 = v. 29 no. 5 589 595 crystal structure oxygen sensing mechanism microcrystalline potentiostatic galvanostatic hydrogen LaF//3 thin film sputtering