한석희 김희중 노태환 강일구 이정중 2024-01-22T00:11:40Z 2024-01-22T00:11:40Z 2022-01-10 1990-11 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147024 스파터링 조건이 Co-Hf-Pd 박막의 특성에 미치는 영향 Article 3 Korean Applied Physics (Korean Physical Society), v.4, no.4, pp.523 - 528 Korean Applied Physics (Korean Physical Society) 4 4 523 528 Co alloy thin film sputtering