주병권 오명환 2024-01-22T00:12:06Z 2024-01-22T00:12:06Z 2022-01-10 1990-11 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147031 산업전자에 응용되는 실리콘 IC 센서 Article 3 경영과 자동화지, pp.22 경영과 자동화지 22 MEMS micromachining microsensor