강광남 이정일 이명복 주병권 김형곤 오명환 2024-01-22T00:12:16Z 2024-01-22T00:12:16Z 2022-01-10 1990-11 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147034 Fabrication and characterization of miniature Si pressure sensor. 소형 Si 압력센서의 제작 및 특성 평가 = Article 3 전자공학회논문지, v.v. 27, no.no. 11, pp.62 - 68 전자공학회논문지 v. 27 no. 11 62 68 pressure sensor