김용태 홍종성 홍치유 민석기 2024-01-22T00:12:49Z 2024-01-22T00:12:49Z 2022-01-10 1990-10 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147043 플라즈마 화학증착 텅스텐박막의 증착온도에 따른 비저항 및 결정구조의 변화 . Article 3 새물리, v.30, no.5, pp.496 - 500 새물리 30 5 496 500