주병권 이명복 이정일 김형곤 강광남 오명환 2024-01-22T00:15:52Z 2024-01-22T00:15:52Z 2022-01-10 1990-06 1016-9288 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147092 대한전자공학회 생체계측을 위한 피하주입형 Si 센서의 기술동향 Article 3 전자공학회지, v.17, no.3, pp.1 - 9 전자공학회지 17 3 1 9 MEMS micromachining microsensor