김형곤 오명환 주병권 이윤희 2024-01-22T00:36:39Z 2024-01-22T00:36:39Z 2022-01-10 1990-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147215 Consideration on the anisotropic etching states of Si and application to the fabrication of micromechanic structures for integrated sensor. 실리콘의 비등방성 식각상태의 고찰과 집적 센서용 미세기계 구조 제작에의 응용 = Article 3 전자학회 논문지, v.제 39 권, pp.75 - 82 전자학회 논문지 제 39 권 75 82