김성일 김은규 김용태 김춘근 김무성 민석기 2024-01-22T01:04:11Z 2024-01-22T01:04:11Z 2022-01-10 1989-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147454 이온주입된 실리콘의 excimer laser annealing 효과 . Article 3 응용물리, v.v. 2, no.no. 2, pp.129 - 135 응용물리 v. 2 no. 2 129 135 laser annealing silicon