금동화 류창섭 이정중 주승기 2024-01-22T01:05:53Z 2024-01-22T01:05:53Z 2022-01-10 1989-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147482 텅스텐의 저압화학증착 (LPCVD) 시 기체유량이 증착층의 선택성과 면저항에 미치는 영향 . Article 3 대한금속학회지, v.v. 27, no.no. 11, pp.995 - 1001 대한금속학회지 v. 27 no. 11 995 1001