김용태 민석기 김춘근 2024-01-22T01:15:11Z 2024-01-22T01:15:11Z 2022-01-10 1988-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147634 텅스텐 할로겐 램프에 의한 절연층상의 실리콘박막급속열처리 . Article 3 전자공학회논문지, v.v. 25, pp.952 - 957 전자공학회논문지 v. 25 952 957