김희중 한석희 이택동 강일구 2024-01-22T01:39:38Z 2024-01-22T01:39:38Z 2022-01-10 1986-12 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147821 Influence of sputtering condition on the thin film characteristics in Co-base alloys 스파터링조건이 코발트계 합금의 박막특성에 미치는 영향 Article 3 대한금속학회지, v.24, no.12, pp.1316 - 1322 대한금속학회지 24 12 1316 1322 sputtering Co alloy thin film 스퍼터링 코발트계합금 용질농도 solute concentration 스퍼터율 sputter yield 증착속도