안광덕 2024-01-22T02:02:27Z 2024-01-22T02:02:27Z 2022-01-10 1985-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/147980 Polymer materials in semiconductor manufacturing. 반도체 제조용 고분자 소재 = Article 3 화학과 공업의 진보, v.v. 25, no.no. 7, pp.495 - 495 화학과 공업의 진보 v. 25 no. 7 495 495