안광덕 2024-01-22T02:05:12Z 2024-01-22T02:05:12Z 2022-01-10 1984-01 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/148023 Resist materials for VLSI lithography. 고집적 반도체 미세가공용 레지스트 = Article 3 대한전자공학잡지, v.v. 11, no.no. 5, pp.75 - 87 대한전자공학잡지 v. 11 no. 5 75 87