Ju Byeong Kwon OH MYUNG HWAN 2024-02-21T05:05:37Z 2024-02-21T05:05:37Z 1996-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/148810 MEMS FED 기술 강좌 : 진공 마이크로 일렉트로직스 (I) Book ? ? 전자부품지