이병철 김태송 박진수 강동현 2024-04-24T07:40:32Z 2024-04-24T07:40:32Z 2024-04-02 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/149714 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서 및 그 제조방법 Patent 2024-04-02 2020-03-18 11944998 16/822018 US 특허 한국과학기술연구원