한승희 서민 신상범 강운현 전신영 조민경 2024-04-26T21:39:02Z 2024-04-26T21:39:02Z 2024-04-17 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/149757 저저항 배선재료 금속 필름 제조 방법 및 제조 장치 Patent 2024-04-17 2021-08-12 10-2659491 10-2021-0106878 KO 특허 한국과학기술연구원