백승협 최형진 허성훈 장지수 윤정호 이병철 송현철 강종윤 최지원 김진상 김성근 2025-07-04T21:30:48Z 2025-07-04T21:30:48Z 2024-07-18 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/152726 에피택시 산화물 박막의 제조방법 및 그로부터 제조된 결정질이 향상된 에피택시 산화물 박막 Patent 2024-07-18 2021-11-11 10-2687727 10-2021-0154425 KO 특허 한국과학기술연구원