장혜정 김대영 최하늘 2026-02-13T21:30:12Z 2026-02-13T21:30:12Z 2026-02-05 https://pubs.kist.re.kr/handle/201004/154263 SEM-EDS 재분석이 가능한 필터 시료 전용 홀더 개발 Patent 2026-02-05 2023-04-03 10-2925908 10-2023-0043443 KO 특허 한국과학기술연구원